광이온화 가스센서(PID)

광이온화 가스센서(PID)

광이온화 가스센서에 관한 것으로, 내부공간을 가지며, 내부공간과 연통되는 적어도 하나 이상의 관통홀이 형성된 하우징, 하우징 내부공간에 상기 관통홀과 인접하여 이격 배치되는 양극 및 음극으로 마련된 측정전극, 및 상기 하우징의 내부공간에 배치되며, 불활성가스가 수용되고, 복수의 격벽에 의해 분리 구획된 적어도 둘이상의 수용공간을 가지며,

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각 내부공간마다 배치되는 전극에 가해진 전기적신호에 의해 수용공간에 수용된 불활성가스가 반응하여 자외선을 조사하는 적어도 하나 이상의 자외선 발생모듈을 포함하고, 적어도 하나 이상의 관통홀을 통해 하우징 내부로 유입된 측정가스에 자외선을 조사하여 측정가스를 이온화시키는 광이온화 가스센서를 제공한다.

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넓은 영역에 자외선이 조사되어 측정가스의 이온화를 촉진시키고, 넓은 구간으로 마련된 측정 전극의 구조가 이온화된 측정가스의 반응구간을 넓힐 수 있어 우수한 선형성을 가지므로 광이온화 가스센서의 감도가 향상될 수 있고,

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적어도 하나 이상의 자외선 발생소자를 구비하여 자외선 집속영역을 구현함에 있어서 자외선 집속영역의 광밀도가 높아 정밀도가 향상되며, 불활성가스가 구비되는 자외선 발생소자에 정밀 용접에 이용이 가능한 탄산가스 레이저로 마감처리를 하여 불활성가스의 누출 가능성을 줄일 수 있어 자외선 발생소자의 출력저하가 방지되고, 장시간 사용이 가능한 효과가 있다.

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도면1)

도면2)

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도면3)

설명)

100 : 광이온화 가스센서

110 : 하우징

111 : 관통홀

120 : 측정전극

121 : 양극

122 : 음극

130 : 자외선 발생모듈

131 : 자외선 발생소자

131a : 전면기판

131b : 후면기판

131c : 전극

131d : 격벽

131e : 유전막

131f : 반사막

P : 양이온

N : 음이온

G : 측정가스

L : 자외선램프

W : 자외선 투과부재

A : 자외선 집속영역

C : 가스챔버

 

 

 

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광이온화 가스센서(PID)