증기증착 (1) 썸네일형 리스트형 반도체 제조공정의 안전작업에 관한 기술지침(KOSHA GUIDE) - 2012.11 P-127-2012 반도체 제조공정의 안전작업에 관한 기술지침(KOSHA GUIDE) - 2012.11 1. 목적 이 기술지침은 반도체 제조공정에서 화재폭발 사고방지를 위해 요구되는 설비의 기준, 재료, 고압용기 등의 안전 취급 작업과 유지 보수의 기준, 그리고 비상 대응책 등의 안전에 필요한 사항을 제시하고 공정설비의 본질적 안전, 검사 체제와 작업 관리 확립에 필요한 기술적 사항을 제공하는데 그 목적이 있다. 2. 적용범위 이 지침은 반도체제조공정 또는 반도체용가스를 사용하는 경우에 적용한다. 3. 정 의 3.1 “반도체 제조 공정”이라 함은 집적 회로를 제조하는 반도체칩 제조 공정 중에서 적층성장(Epitaxial Growth), 산화, 사진식각공정(Photolithography), .. 이전 1 다음
