powertrap (1) 썸네일형 리스트형 파우더 트랩(Powder Trap) 반도체 제조 설비의 파우더 트랩장치 단위 공정이 이루어지는 공정 챔버와 진공 펌프를 연결시키는 배기 라인의 소정 부위에 형성되고 공정 챔버로부터 배출되는 배기 가스가 주입되는 가스 주입구 및 배출되는 가스 배출구가 형성된 몸체와, 몸체 내부에 형성되어 배기 가스에 포함된 파우더(Powder)를 트랩(Trap)시키는 트랩수단을 포함하는 반도체 제조 설비의 파우더 트랩장치로서, 가스 배출구의 내측 입구에는 트랩수단에 트랩되지 않은 파우더를 걸러내는 필터링(Filtering)수단이 더 형성되는 것을 특징으로 한다. 이에 따르면, 가스 배출구의 내측에 필터링 수단이 형성되어 있음으로써, 트랩수단에 트랩되지 않은 파우더가 걸러진다. 따라서, 반도체 제조 설비의 파우더 제거 장치는 트랩수단에 트랩되지 않은 .. 이전 1 다음
