728x90 반응형 SMALL 반도체 공학/화학공학 2023. 4. 10. 파우더 트랩(Powder Trap) 반도체 제조 설비의 파우더 트랩장치 단위 공정이 이루어지는 공정 챔버와 진공 펌프를 연결시키는 배기 라인의 소정 부위에 형성되고 공정 챔버로부터 배출되는 배기 가스가 주입되는 가스 주입구 및 배출되는 가스 배출구가 형성된 몸체와, 몸체 내부에 형성되어 배기 가스에 포함된 파우더(Powder)를 트랩(Trap)시키는 트랩수단을 포함하는 반도체 제조 설비의 파우더 트랩장치로서, 가스 배출구의 내측 입구에는 트랩수단에 트랩되지 않은 파우더를 걸러내는 필터링(Filtering)수단이 더 형성되는 것을 특징으로 한다. 이에 따르면, 가스 배출구의 내측에 필터링 수단이 형성되어 있음으로써, 트랩수단에 트랩되지 않은 파우더가 걸러진다. 따라서, 반도체 제조 설비의 파우더 제거 장치는 트랩수단에 트랩되지 않은 .. 기준·규격/공정안전(P) 2023. 3. 14. 반도체 공정에서 가스를 취급하는 벌크시스템의 안전에 관한 기술지침(KOSHA GUIDE) - 2012.11 P-122-2012 반도체 공정에서 가스를 취급하는 벌크시스템의 안전에 관한 기술지침(KOSHA GUIDE) - 2012.11 1. 목적 이 지침은 독성, 질식성 및 인화성 가스를 취급하는 벌크시스템의 안전성 확보 및 효율적 운영을 위하여 가스 누출이 발생할 때 즉시 감지함으로써 초기 대응시간 단축과 2차적인 피해 확대를 방지하기 위해 벌크시스템의 안전에 필요한 사항을 제시하는데 그 목적이 있다. 2. 적용범위 이 지침은 독성, 질식성 및 인화성 가스 벌크시스템을 사용하는 모든 경우에 적용 한다. 3. 정의 3.1 “벌크시스템(Bulk system)”이라 함은 사업장에서 사용하거나 취급하는 급성독성물질 및 인화성 가스를 대용량으로 저장․사용하기 위하여 튜브트레일러(Tube t.. 기준·규격/공정안전(P) 2023. 3. 13. 반도체 제조공정의 안전작업에 관한 기술지침(KOSHA GUIDE) - 2012.11 P-127-2012 반도체 제조공정의 안전작업에 관한 기술지침(KOSHA GUIDE) - 2012.11 1. 목적 이 기술지침은 반도체 제조공정에서 화재폭발 사고방지를 위해 요구되는 설비의 기준, 재료, 고압용기 등의 안전 취급 작업과 유지 보수의 기준, 그리고 비상 대응책 등의 안전에 필요한 사항을 제시하고 공정설비의 본질적 안전, 검사 체제와 작업 관리 확립에 필요한 기술적 사항을 제공하는데 그 목적이 있다. 2. 적용범위 이 지침은 반도체제조공정 또는 반도체용가스를 사용하는 경우에 적용한다. 3. 정 의 3.1 “반도체 제조 공정”이라 함은 집적 회로를 제조하는 반도체칩 제조 공정 중에서 적층성장(Epitaxial Growth), 산화, 사진식각공정(Photolithography), .. 기준·규격/공정안전(P) 2023. 3. 13. 반도체 제조설비의 화재 방지 및 방호 기술지침(KOSHA GUIDE) - 2012.07 P - 16 - 2012 반도체 제조설비의 화재 방지 및 방호 기술지침(KOSHA GUIDE) - 2012.07 1. 목적 이 기술지침은 반도체 제조설비에서 발생될 수 있는 위험을 최소화하기 위하여 화재 방지 및 방호 시스템 구축에 관한 기술적 사항을 제시하고, 위험물질의 저장 및 운반과 위험물질 제조지역에서의 사용 및 처리의 기술적 사항을 제시하는데 목적이 있다. 2. 적용범위 이 기술지침은 건강유해성, 반응성 및 인화성의 등급이 상대적으로 높은 위험물질을 저장 및 처리하는 반도체 제조설비(Semiconductor fabrication facilities)가 포함된 건물과 반도체 제조설비의 화재 방지 및 방호를 위한 비상통제소에 대하여 적용한다. 3. 용어의 정의 3.1 “연속.. 기준·규격/안전설계(D) 2023. 3. 5. SEMI 반도체 국제표준규격 정의 및 역할 SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) : 국제반도체 장비 재료협회 - 전세계적으로 2,500 여 개의 회원사들로 구성되어 있고, 본부는 미국 캘리포니아이며 서울, 브위셀, 도쿄, 싱가폴, 타이완, 모스크바 및 상하이에 사무국을 갖고 있음. - 국제표준규격, 무역 전시회, 마켓통계 기술 심포지엄, 대정부관계 등의 활동을 하고 있으며, 반도체 제조와 처리 공정에 사용되는 기계들에 대한 규격을 제정하고 인증함으로 산업발전의 기반을 조성하고 있음 - 정부와 시민대표들에게 반도체 산업의 대한 인식을 개선하며 판매를 확대하는데 있어 보다 효과적인 관리와 경영에 대한 정보들을 제공해 줍니다. 특히, 반도체에 대한 국제표준규격을 제정하고 있.. 정책.이슈 2023. 2. 1. 고용노동부, 반도체업계와 규제혁신 간담회 개최 고용노동부, 반도체업계와 규제혁신 간담회 개최 도급승인 절차, 특수건강검진 주기 합리화 등 규제 개선키로 - □ 고용노동부 권기섭 차관은6월 27일(월) 14시 반도체업계와 규제혁신 간담회를 개최했다. * (일시‧장소) 6.27.(월) 14시, 서울로얄호텔 (참석) 삼성전자, SK하이닉스, 협력업체 등 ㅇ 이번 간담회는 ｢고용노동 규제혁신 1차 회의(위원장: 차관, 6.9.)｣에서, 실제 규제가 작동하는 현장에서 국민과 기업 등 수요자가 느끼는 불합리한 절차와 규율을 적극적으로 발굴하고 합리적으로 개선이 필요하다는 인식에서 이루어졌다. - 그 첫 번째 현장 행보로 우리산업의 핵심인 반도체 업계의 기업 활동과 경쟁력을 저해하는 규제 중 특히 산업안전 분야 규제 애로사항을 청취하고, 규제 개선.. 이전 1 다음 728x90 반응형 LIST
